Les données XYZ sont des nuages de points réprésentant des mesures arbitraires dans le plan xy. Dans le contexte des mesures SPM on considère généralement que les données définissent une fonction dans le plan, c'est-à-dire que chaque point dans le plan xy correspond à une valeur z. Des données XYZ plus générales peuvent représenter des formes tri-dimensionnelles arbitraires. Toutefois, ce cas est inhabituel pour les données SPM, et Gwyddion considère que les données correspondent à une surface n'ayant qu'une valeur par coordonnée xy.

Une conséquence importante est que les ensembles de données XYZ variant selon les valeurs en z mais définies sur les mêmes points dans le plan xy sont considérées comme « compatible » dans Gwyddion. De nombreuses opérations peuvent être appliquées de manière plus directe sur des données compatibles, et certaines n'ont de sens que sur des données compatibles.

Les fonctions de traitement des données XYZ, données dans le menu données XYZ sont pour l'instant limitées. La fenêtre des données XYZ, affichée dans lea figure ci-dessous, fournit une visualisation basique des données : un aperçu rastérisé en image. Celui-ci est calculé à l'aide d'un méthode rapide proche de l'interpolation arrondie des données XYZ. Le redimensionnement de la fenêtre ne fait que redimensionner l'aperçu. Utilisez le bouton rafraîchir l'aperçu pour recalculer l'aperçu pour la taille de fenêtre en cours.

Fenêtre de données XYZ affichant l'aperçu d'un scan le long d'une spirale.

Il est aussi possible de basculer entre l'aperçu et l'affichage de la densité des points XYZ à l'aide du bouton carte de densité. Le comportement face au redimensionnement de la fenêtre est identique à celui de l'aperçu.